精密运动平台
设备采用大理石平台,运动轴重复定位精度可达0.5μm,对样品双面同时进行扫描,上下探头对齐度0.5μm。
支持多探头协同工作(4C或2C+2T),进一步提升检测效率。双探头及支架有优化设计的破水结构,快速扫描也不会导致水面剧烈波动。
Copyright © 2026 苏州声镭科技有限公司 版权所有
设备采用大理石平台,运动轴重复定位精度可达0.5μm,对样品双面同时进行扫描,上下探头对齐度0.5μm。
支持多探头协同工作(4C或2C+2T),进一步提升检测效率。双探头及支架有优化设计的破水结构,快速扫描也不会导致水面剧烈波动。
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