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核心技术

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精密运动平台

设备采用大理石平台,运动轴重复定位精度可达0.5μm,对样品双面同时进行扫描,上下探头对齐度0.5μm。

支持多探头协同工作(4C或2C+2T),进一步提升检测效率。双探头及支架有优化设计的破水结构,快速扫描也不会导致水面剧烈波动。

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