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核心技术

自动跟随聚焦

基于高精度激光测距与实时闭环控制系统，可实现检测过程中样品位置、姿态的自动实时补偿与跟踪。该技术确保了超声扫描焦点始终精确聚焦于样品表面或内部目标区域，有效消除了机械振动、热漂移等因素引入的测量误差，显著提升成像稳定性与重复性，适用于晶圆、精密元件等对定位精度要求严苛的无损检测场景。