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晶圆自动化超声扫描设备是一款专门应用于晶圆键合在线检测的设备,可以显著提升 客户产品的良率与质量。它可以对键合晶圆界面的空洞,杂质和分层等缺陷进行无损检测,具有检测效率高,产品定制化程度高及自动化程度高等优势。
超声智能显微成像系统通过发射高频超声脉冲波并接收反射/透射信号,形成材料内部结构的高分辨率图像,实现对材料缺陷、裂纹等微小结构的无损检测。广泛应用于材料科学、生物医学、无损检测等领域,为科研和工业检测提供了强有力的技术支持。
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